扫描声学显微镜利用高频超声波与物体之间的声学物理效应可给出微米级的显微特征，是先进的无损检测与精密显微成像设备，其关键核心技术既涉及到高频超声领域的原理性科学问题，又是多学科的前沿技术和工程问题。

本单位研制出了检测频率为100MHz以上的扫描声学显微镜UltraMscan-100，填补了国内高端声学显微镜产品的空白，突破了高频传感器、电子激励与采集系统等关键技术，具备完全独立自主知识产权，可实现高速扫描、高精度定位及三维成像等功能，已应用在半导体、信息技术等产业上下游相关产品质量检测中。

技术指标：

频率范围：20MHz - 200MHz 

工作模式：反射式

最大扫查速度：1000mm / s

X轴-Y轴扫查范围：300 mm * 300 mm

X轴-Y轴重复定位精度：±1 µm

X轴-Y轴分辨率：±0.1 µm

X轴-Y轴绝对定位精度：5 µm

产品展示

陶瓷片检测结果